ENTEGRIS氣體擴散器Chambergard FV50D XL

FV50D XL 擴散器是通過小化負載鎖定排氣周期時間來可靠地增加系統(tǒng)吞吐量的選擇。 這款二代擴散器可以承受更高的工作壓力 (60 psig)，額定循環(huán)次數(shù)為 100 萬次，從而大大提高了性能并降低了擁有成本。 我們的 Chambergard系列產(chǎn)品可快速排放到大氣中，而不會干擾腔室中的晶圓或向晶圓添加顆粒。 它們將擴散器的流動特性與過濾器相結(jié)合，以提高吞吐量。 憑借我們的全球基礎設施，我們可以提供 Chambergard 快速排氣擴散器，以滿足您在全球范圍內(nèi)的需求。

額定循環(huán)次數(shù)為 1,000,000 次，設計用于在更高的入口壓力下運行

緊湊型擴散器單元中的燒結(jié)鎳技術可在所有應用中提供良好的性能

從進入的氣體中去除大于 0.0015 µm 的顆粒，大限度地減少晶圓缺陷

易于安裝/改裝到現(xiàn)有工具中，大限度地減少停機時間