KURT J LESKER殘余氣體分析儀RGA w/ EM

KJLC 元件是具有成本效益的 RGA，是市場上更低的小型可檢測分壓 (MDPP) 之一。

使用一個RGA，您可以輕松檢測到空氣泄漏、冷卻水泄漏、泵中的油回流、因溶劑清洗不當(dāng)而留下的氟和氯、先前樣品的腔室污染以及（棘手的問題）貫穿泄漏在供氣閥中。

• 6x10 Torr可檢測分壓 (MDPP) 與 EM
• 100 和 200 amu 選項
• 提供預(yù)建的 LabVIEW 驅(qū)動程序
• 訪問 API 命令以進行系統(tǒng)集成
• 具有成本效益的氣體分析
• 法拉第杯和電子倍增器選項
• 集成軟件、LabVIEW 驅(qū)動程序和對 API 協(xié)議的訪問

泄漏檢測

抽空和烘烤監(jiān)測

氣體和污染物識別

真空系統(tǒng)診斷

過程監(jiān)控