WASCO開(kāi)關(guān)UHP160-3

自 1989 年以來(lái)，行業(yè)客戶(hù)一直信賴(lài) UHP160 系列的可靠性和性能。該系列除采用全焊接結(jié)構(gòu)外，還采用了全不銹鋼傳感器。UHP160 系列采用 Wasco 專(zhuān)有的制造方法，消除了所有泄漏途徑。該系列是處理腐蝕性介質(zhì)的開(kāi)關(guān)，精度高，公差小。我們?yōu)楦呒兌葢?yīng)用（如半導(dǎo)體設(shè)備）設(shè)計(jì)了這些開(kāi)關(guān)。UHP160 系列不含任何彈性體或 O 形圈。根據(jù) SEMI F1 標(biāo)準(zhǔn)，所有開(kāi)關(guān)的氦氣泄漏測(cè)試均達(dá)到 ≤ 1 x 10^-9 std cc/sec。UHP160 系列在 100 級(jí)潔凈室中制造和包裝。

適用于半導(dǎo)體設(shè)備等高純度應(yīng)用

不含任何彈性體或 O 形圈

符合 SEMI F1 標(biāo)準(zhǔn)

所有開(kāi)關(guān)的氦氣泄漏測(cè)試均達(dá)到 ≤ 1 x 10^-9 std cc/sec

100 級(jí)潔凈室中制造和包裝

UHP160-3 設(shè)定點(diǎn)范圍：1.6 - 25.0 inHg

UHP160-5 設(shè)定點(diǎn)范圍：6.0 - 29.5 inHg

可提供其他表面安裝配置

可提供其他端面密封配置

產(chǎn)地：美國(guó)

Max系統(tǒng)壓力：30.0 inHg

設(shè)定點(diǎn)范圍：1.6 - 25.0 inHg

設(shè)定點(diǎn)公差：± 1.2 inHg  

典型復(fù)位帶：1.0 - 4.6 inHg

潤(rùn)濕元件接頭：316L SS

膜片：17-7PH SS 和 316L SS

使用壽命：≥ 1,000,000 次循環(huán)

防護(hù)等級(jí)：IP 67

泄漏率：≤ 1 x 10^-9 std cc/sec

工作溫度：-65 至 225 °F；-54 至 107 °C

表面安裝：帶 IGS

端面密封：1/4 " 外螺紋

氣箱、臭氧系統(tǒng)、氣體分配系統(tǒng)、半導(dǎo)體設(shè)備