WASCO開關UHP160-3

自 1989 年以來，行業(yè)客戶一直信賴 UHP160 系列的可靠性和性能。該系列除采用全焊接結構外，還采用了全不銹鋼傳感器。UHP160 系列采用 Wasco 專有的制造方法，消除了所有泄漏途徑。該系列是處理腐蝕性介質(zhì)的開關，精度高，公差小。我們?yōu)楦呒兌葢茫ㄈ绨雽w設備）設計了這些開關。UHP160 系列不含任何彈性體或 O 形圈。根據(jù) SEMI F1 標準，所有開關的氦氣泄漏測試均達到 ≤ 1 x 10^-9 std cc/sec。UHP160 系列在 100 級潔凈室中制造和包裝。

適用于半導體設備等高純度應用

不含任何彈性體或 O 形圈

符合 SEMI F1 標準

所有開關的氦氣泄漏測試均達到 ≤ 1 x 10^-9 std cc/sec

100 級潔凈室中制造和包裝

UHP160-3 設定點范圍：1.6 - 25.0 inHg

UHP160-5 設定點范圍：6.0 - 29.5 inHg

可提供其他表面安裝配置

可提供其他端面密封配置

產(chǎn)地：美國

Max系統(tǒng)壓力：30.0 inHg

設定點范圍：1.6 - 25.0 inHg

設定點公差：± 1.2 inHg  

典型復位帶：1.0 - 4.6 inHg

潤濕元件接頭：316L SS

膜片：17-7PH SS 和 316L SS

使用壽命：≥ 1,000,000 次循環(huán)

防護等級：IP 67

泄漏率：≤ 1 x 10^-9 std cc/sec

工作溫度：-65 至 225 °F；-54 至 107 °C

表面安裝：帶 IGS

端面密封：1/4 " 外螺紋

氣箱、臭氧系統(tǒng)、氣體分配系統(tǒng)、半導體設備