SP120 系列的可靠性和性能自 1989 年以來,一直深受行業(yè)客戶的信賴。該系列除采用全焊接結(jié)構(gòu)外,還采用了全不銹鋼傳感器。SP120 系列采用 Wasco 專有的制造方法,消除了所有泄漏路徑。該系列是處理腐蝕性介質(zhì)的選擇,精度高,公差小。我們?yōu)榘雽?dǎo)體設(shè)備等高純度應(yīng)用設(shè)計(jì)了這些開關(guān)。SP120 系列不含任何彈性體或 O 形圈。根據(jù) SEMI F1 標(biāo)準(zhǔn),所有開關(guān)的氦氣泄漏測試值均為≤ 1 x 10-9 std cc/sec。
為半導(dǎo)體設(shè)備等高純度應(yīng)用設(shè)計(jì)
不含任何彈性體或 O 形圈
符合SEMI F1 標(biāo)準(zhǔn)
經(jīng)過氦氣泄漏測試
氦氣泄漏量 ≤ 1 x 10-9 std cc/sec
SP120-3 Max系統(tǒng)壓力:30 PSIG
SP120-5 Max系統(tǒng)壓力125 PSIG
SP120-8 Max系統(tǒng)壓力:250 PSIG
SP120-15 Max系統(tǒng)壓力:500 PSIG
可提供其他配置外螺紋端面密封和飛線
可提供其他配置外殼
可提供其他壓力范圍
產(chǎn)地:美國
Max系統(tǒng)壓力:30 PSIG
設(shè)定點(diǎn)范圍:1 - 30 PSIG
設(shè)定點(diǎn)公差:± 0.7 PSI
復(fù)位范圍:0.7 - 2.3 PSI
潤濕元件接頭:316L SS
膜片:17-7PH SS
使用壽命:≥ 1,000,000 次
防護(hù)等級:IP 65
泄漏率:≤ 1 x 10-9 std cc/sec
工作溫度:-65至 225 °F;-54 至 107 ℃
端面密封:1/4 " 外螺紋
外殼:9 針
氣箱、臭氧系統(tǒng)、氣體分配系統(tǒng)、半導(dǎo)體設(shè)備