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ATOVAC真空計(增強對流計)EG301

  • 品  牌:ATOVAC
  • 型  號:EG301
  • 技術資料:
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產品介紹

通常安裝在真空室內,它是一個讀取真空室內實際壓力的儀表,需要+24 VDC(可能為15 VDC)電源。EG301增強型對流壓力計具有3~10 VDC信號輸出,用于半導體工藝和真空設備。

性能特點

  • 可以進行大范圍的壓力測量(0 X 10-4至760Torr)。
  • 高精度和增加的占地面積效率。
  • 提供模擬輸出,以便直接連接到PLC和其他設備進行顯示。
  • 由于采用了7段LED,因此可以遠距離讀取。
  • PC可以使用RS-485進行控制。
  • 提供兩個設置點用于外部設備和過程。
  • 它可以以低成本維修(更換傳感器導線)。
  • 可單獨使用,無需控制器。

技術參數

輸入功率:+24伏直流電(可能15伏直流電)

輸出功率:+3 VDC至10 VDC

工作溫度:0~50℃

壓力范圍:2.0 X 10-4~760Torr

顯示窗口:7段LED

顯示單元:托爾(Torr)

安裝位置:水平

細絲:鉑99.999%

法蘭:NW16 ISO-KF、NW25 ISO-KF,1/4 VCR內螺紋,CF法蘭

界面:模擬輸出,RS-485,2個設定點


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